Человек и прогресс

Технология ИС (интегральной схемы) начинается с проектирования светового изображения схемы на светочувствительную пленку, покрывающую кремниевый диск. Затем в процессе проявления пленки (методами, схожими с проявлением обычных фотографий) схема отпечатывается на диске.

И вновь необычные заботы — даже тень от микропылинки (а совсем избавиться от пыли невозможно) может исказить рисунок: в схеме образуются дефекты. И тем более значительные, чем больше длина волны света. Вот и приходится заменять свет видимый ультрафиолетом, еще лучше — перейти на рентгеновские лучи. Но заманчивее всего выводить узоры сфокусированным пучком электронов.